氯化氢制备中生产规模较大的是发生法跟脱析法

    电子级氯化氢气体的几种制备方法如下。

    1.盐酸脱析法

    将浓盐酸置于脱析塔钟加热脱析制备氯化氢气体，在七十年代末期发展出来的。然后，经过一系列的常温、低温干燥、吸附除水以及二氧化碳，压缩至1.2Mpa，进行低温精馏，再经过低温吸附除去氮后压缩至4.2Mpa，然后再进行装瓶。

    2.发生法 

    七十年代以前，电子工业用高纯度氯化氢的制备一直是将浓硫酸滴加到浓盐酸中，将其中的水吸收掉，使得过饱和的氯化氢气体析出。到了七十年代到八十年代初期，制备方法发展到用浓硫酸与焙烘干的食盐反应，生成高纯度的氯化氢气体，再用压缩机压入钢瓶中。 

    3.合成法 

    用氯和氢在合成炉中进行燃烧反应生成氯化氢气体是八十年代初为适应我国电子工业的迅速发展而提出的，在技术上较为先进，由合成炉出来的氯化氢气体经常温、低温干燥和吸附净化，在低温、低压下冷凝，排除不凝气体杂质，以液态装瓶。氯、氢合成中，氢过量5％左右，氯化氢气体中含氢高，以间歇精馏装置除氢。此外，原料氢是经钯膜扩散提纯，生产规模受到一定限制。 

    当然，氯化氢的发生法以及脱析法生产规模较大。